探針可以將質(zhì)譜測(cè)定技術(shù)與離子發(fā)射顯微鏡技術(shù)相結(jié)合作為現(xiàn)代儀器分析方法。能提供一般質(zhì)譜分析所不能提供的試樣微區(qū)質(zhì)譜。由于它能對(duì)固體物質(zhì)作微區(qū)、微量及深度成分分析，在某些條件下檢測(cè)靈敏度可達(dá)ppb數(shù)量級(jí)，因此被廣泛用于半導(dǎo)體、冶金、地質(zhì)和生物研究等部門(mén)。其原理是利用聚焦的高能一次離子束轟擊試樣表面，濺射出表征試樣成分的二次離子束，通過(guò)磁場(chǎng)完成質(zhì)荷比分離，根據(jù)二次離子的質(zhì)荷比和強(qiáng)度來(lái)進(jìn)行定性和定量分析。