在討論FIB聚焦離子束技術的應用與發(fā)展時，我們不得不提及其核心部件
探針。探針針尖作為直接與樣品相互作用的部分，其材料的選擇對FIB技術的加工效果及應用范圍有著決定性影響。近年來，鎢材質逐漸成為探針針尖的重要材料，這背后的原因值得我們深入探討。
鎢是一種具有高熔點的難熔金屬，其熔點接近5000℃，這在所有金屬中是最為突出的。這種高熔點特性使得鎢材質在FIB操作過程中能夠承受高的溫度而不發(fā)生形變或損壞，保證了加工過程的穩(wěn)定性和可靠性。
鎢不僅熔點高，還具有很高的硬度和優(yōu)異的耐磨性。在FIB加工中，探針針尖需要對樣品進行長時間的照射和加工，這就要求針尖材料具備足夠的硬度來抵抗磨損。鎢的這些性質確保了探針在長期使用過程中仍能保持尖銳，從而維持加工精度。
鎢具有良好的電導性和熱導性，這意味著在FIB操作中，由離子束撞擊產生的熱量和電荷可以迅速從鎢探針傳導出去。這種快速散熱和導電的能力有助于避免樣品因局部溫度過高而發(fā)生非預期的物理或化學變化，保障了加工過程的精確度和效率。
在進行離子束加工時，探針材料應具備良好的化學穩(wěn)定性，以避免與樣品材料發(fā)生反應，導致污染或加工誤差。鎢在常溫及高溫下均展現(xiàn)出好的化學穩(wěn)定性，這使得鎢材質探針能夠適用于多種材料的FIB加工，包括半導體、金屬材料等。
鎢材質因其高熔點、優(yōu)異的硬度與耐磨性、良好的電導性和熱導性以及良好的化學穩(wěn)定性，成為了探針針尖的理想選擇。這些屬性共同作用，使鎢材質探針在FIB加工中展現(xiàn)出持久的耐用性、高精度和廣泛的應用范圍。
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