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LEICA三離子束切割儀在高通量實(shí)驗(yàn)中的運(yùn)用
2023-08-08

隨著科技的不斷進(jìn)步,納米加工和表面改性在許多領(lǐng)域都變得越來(lái)越重要。在這些應(yīng)用中,LEICA三離子束切割儀因其高精度、高速度和高效率而得到廣泛應(yīng)用。本文將介紹三離子束切割儀在高通量實(shí)驗(yàn)中的運(yùn)用,以及其在納米加工和表面改性方面的優(yōu)勢(shì)。三離子束切...

  • 2022

    9-8

    在利用掃描電鏡分析非導(dǎo)電樣品時(shí),因?yàn)闃悠返牟粚?dǎo)電性,會(huì)在樣品表面累積電離子,因此在成像過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量的放電現(xiàn)象,嚴(yán)重影響圖像質(zhì)量。因此在觀察非導(dǎo)體時(shí)一般都要事先用鍍膜儀在試樣表面上蒸涂(沉積)一層重金屬導(dǎo)電膜,這樣既可以消除試樣荷電現(xiàn)象,又可以增加試樣表面導(dǎo)電導(dǎo)熱性,減少電子束造成的試樣(如高分子及生物試樣)損傷、提高二次電子發(fā)射率。鍍膜儀當(dāng)接通高壓,陰極發(fā)射電子,電子能量增加到1-3kev,轟擊低真空中(3-10pA)的氣體,使其電離,激發(fā)出的電子在電場(chǎng)中被加速,繼續(xù)轟擊...

  • 2022

    8-2

    靶材特別是高純度濺射靶材應(yīng)用于電子元器件制造的物理氣相沉積工藝(PVD),是制備晶圓、面板、太陽(yáng)能電池等表面電子薄膜的關(guān)鍵材料。所謂濺射是制備薄膜材料的主要技術(shù),也是PVD的一種。它通過(guò)在PVD設(shè)備中用離子對(duì)目標(biāo)物進(jìn)行轟擊,使得靶材中的金屬原子以一定能量逸出,從而在晶圓表面沉積,濺鍍形成金屬薄膜,其中被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料,稱為濺射靶材。對(duì)靶材用量較大的行業(yè)主要有半導(dǎo)體集成電路、平板顯示器、太陽(yáng)能電池、磁記錄介質(zhì)、光學(xué)器件等。其中,高純度濺射靶材主要用于對(duì)材料...

  • 2022

    7-6

    探針可以將質(zhì)譜測(cè)定技術(shù)與離子發(fā)射顯微鏡技術(shù)相結(jié)合作為現(xiàn)代儀器分析方法。能提供一般質(zhì)譜分析所不能提供的試樣微區(qū)質(zhì)譜。由于它能對(duì)固體物質(zhì)作微區(qū)、微量及深度成分分析,在某些條件下檢測(cè)靈敏度可達(dá)ppb數(shù)量級(jí),因此被廣泛用于半導(dǎo)體、冶金、地質(zhì)和生物研究等部門。其原理是利用聚焦的高能一次離子束轟擊試樣表面,濺射出表征試樣成分的二次離子束,通過(guò)磁場(chǎng)完成質(zhì)荷比分離,根據(jù)二次離子的質(zhì)荷比和強(qiáng)度來(lái)進(jìn)行定性和定量分析。探針的主要應(yīng)用領(lǐng)域有以下幾大常見(jiàn)的:1.半導(dǎo)體材料①表面、界面和體材料的雜質(zhì)分析...

  • 2022

    6-9

    徠卡超薄切片機(jī)可進(jìn)行常溫或冷凍的半薄和超薄切片,以及樣品表面光滑處理,為透射電鏡、掃描電鏡、原子力顯微鏡和光鏡檢驗(yàn)生物樣品,高分子材料以及工業(yè)樣品提供切片制樣。該超薄切片機(jī)為機(jī)械推進(jìn)式切片機(jī),用微動(dòng)螺旋和微動(dòng)杠桿來(lái)提供微小推進(jìn),使用金剛石刀片對(duì)樣品進(jìn)行切片。用超薄切片法,可得到25左右的分辨率;同電鏡本身早已達(dá)到2-3的分辨本領(lǐng)相比,還有相當(dāng)大的“差距”。這種差距意味著許多結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)尚未被人們發(fā)現(xiàn)和認(rèn)識(shí),同時(shí)也告誡人們不能滿足現(xiàn)今已有的制樣技術(shù)。在電鏡技術(shù)中,有兩種分辨率:一種...

  • 2022

    5-6

    三離子切割儀可以靈活選擇多種樣品臺(tái),不僅適用于高通量實(shí)驗(yàn),也適合于特定制樣需求實(shí)驗(yàn)室。對(duì)地質(zhì)樣品中的油頁(yè)巖、煤層、礦石、土壤和沉積物等多種類型,對(duì)這些樣品進(jìn)行制樣處理的主要操作就是獲得一個(gè)無(wú)損傷的平整面。機(jī)械切割和機(jī)械磨拋很難避免處理過(guò)程中造成樣品的微觀組織破壞和磨料污染現(xiàn)象。特別是在掃描電鏡高放大倍數(shù)的形貌觀察下,地質(zhì)樣品的微觀結(jié)構(gòu)破壞非常明顯。三離子切割儀采用離子束轟擊樣品表層區(qū)域進(jìn)行切割,是一種無(wú)機(jī)械應(yīng)力破壞和無(wú)磨料污染的表面處理方式。經(jīng)過(guò)離子束制備的樣品,適合于掃描電...

  • 2022

    1-6

    液體導(dǎo)電膠是一種固化或干燥后具有一定導(dǎo)電性能的膠黏劑,應(yīng)用于液晶顯示屏(LCD)、發(fā)光二極管(LED)、集成電路(IC)芯片、印刷線路板組件(PCBA)、點(diǎn)陣塊、陶瓷電容、薄膜開(kāi)關(guān)、智能卡、射頻識(shí)別等電子元件和組件的封裝和粘接,有逐步取代傳統(tǒng)的錫焊焊接的趨勢(shì)。液體導(dǎo)電膠的常見(jiàn)類別分析:1.按基體可分為熱塑性和熱固性。熱塑性基體樹(shù)脂分子鏈很長(zhǎng),且支鏈少,在高溫下固化時(shí)流動(dòng)性較好,可重復(fù)使用。而熱固性基體材料初是單體或預(yù)聚合物,在固化過(guò)程中發(fā)生聚合反應(yīng),高分子鏈連接形成交聯(lián)的三維...

  • 2021

    12-3

    液體導(dǎo)電膠主要由樹(shù)脂基體、導(dǎo)電粒子和分散添加劑、助劑等組成。目前市場(chǎng)上使用的導(dǎo)電膠大都是填料型。填料型導(dǎo)電膠的樹(shù)脂基體,原則上講,可以采用各種膠勃?jiǎng)╊愋偷臉?shù)脂基體,常用的一般有熱固性膠黏劑如環(huán)氧樹(shù)脂、有機(jī)硅樹(shù)脂、聚酰亞胺樹(shù)脂、酚醛樹(shù)脂、聚氨酯、丙烯酸樹(shù)脂等膠黏劑體系。這些膠黏劑在固化后形成了導(dǎo)電膠的分子骨架結(jié)構(gòu),提供了力學(xué)性能和粘接性能保障,并使導(dǎo)電填料粒子形成通道。由于環(huán)氧樹(shù)脂可以在室溫或低于150℃固化,并且具有豐富的配方可設(shè)計(jì)性能,目前環(huán)氧樹(shù)脂基導(dǎo)電膠占主導(dǎo)地位。導(dǎo)電膠...

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